传感器芯片，是机器的神经末梢。小到指甲盖，却决定着高端装备能否“看见”、能否“感知”、能否精准动作。2025年9月，安徽华鑫微纳集成电路有限公司荣获蚌埠市智能传感产业十强企业称号。
2022年3月，华鑫微纳在中国传感谷落地。公司建设了全国首条8英寸MEMS晶圆全自动化生产线，作为国家集成电路生产力布局重大项目、国资委某重大工程项目，2025年底已具备月产1万片的批量化生产能力，大幅提升了我国MEMS产业链供应链的韧性与安全水平。
从2024年1月第一台设备招标开始计时，仅用16个月就完成产品通线。产线建设中，公司通过构建“技术+业务”双驱动协作模式，实现了MES、EAP、国产化机台、国产化天车的深度集成，目前自动化产线已具备自动化等级2水平，自动化等级3进入试运行阶段。109台天车投入使用，月均搬运约10万次，故障率1.5‰，点到点平均搬运时长279秒，满足日常生产串线和研发需求。
目前在线产品18款，样品及量产产品按时交付达成率100%，某重大专项产品提前一个月完成交付。企业同步取得ISO9001、ISO45001、ISO14001三体系认证。
华鑫微纳坚持创新驱动，构建6大工艺制造体系，有效解决MEMS芯片“一品一研、多杂散小”难题。
MEMS阵列微镜是其中最具代表性的成果，广泛应用于5G全光通讯与高端装备领域，华鑫微纳是全球唯二、国内唯一的研制单位。公司攻克基于TSV与电极结合的双面工艺及硅硅晶圆级键合的光MEMS整套工艺技术，完成8英寸阵列MEMS微镜产品研制与交付，解决了国家某工程领域的重大诉求，支撑关键领域技术自主可控。
同时，公司建成8英寸AlN/AlScN压电工艺平台，完成3款硅电容系列化产品导入，自研医疗压力及车规级压力芯片正在首轮流片。
自入驻传感谷以来，华鑫微纳带动集聚200多家上下游企业，构建“材料制备—晶圆制造—封装测试”全产业链协同发展体系，助力打造自主可控的智能传感产业集聚区。围绕7大类产品与20余家客户开展合作，2025年成功进入汽车供应链，在汽车产业市场实现突破。
面向未来，公司依托8英寸压电工艺平台，正在打造全国乃至全球首条8英寸脑机接口柔性电极线，积极抢占脑机接口产业发展制高点，以科技创新引领新质生产力发展。
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来源| 蚌埠日报
主办| 蚌埠经开区管委会
