盛科创投投资企业「新松半导体」完成新一轮融资,加速晶圆传输设备自主化进程
近日,沈阳产研院投资企业沈阳新松半导体设备有限公司(以下简称“新松半导体”)完成超亿元融资,本轮投资方包括北方华创、中微公司、盛京金控相关基金。本轮资金将重点用于高精度真空机械手、先进晶圆传输设备等核心产品的技术迭代与升级,推动公司产品全面达到国际先进水平。
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沈阳产业技术研究院(简称“沈阳产研院”)是沈阳市人民政府依法设立,具有科研事业单位性质和独立法人地位,实行企业化管理的新型研发机构。在管理体制上,沈阳产研院实行理事会领导下的院长负责制。作为科技体制改革试验田,自2021年11月正式运营以来,沈阳产研院始终以科技创新推动产业创新为出发点和落脚点,基于“技术价值发现”与“产业孵化”两项核心能力,打造“盛科”品牌,创新“拨投结合”等多种科转模式,不断凝聚创新资源,服务产业发展,构建东北首个全流程、全要素、全链条科技成果转化服务体系,为沈阳产业转型升级和未来产业发展持续提供技术支撑,探索一条东北地区高质量可持续发展之路。沈阳产研院围绕沈阳3+4+3产业布局,已挖掘培育具有核心技术的科技项目83个,布局各类研究所、创新中心7个。是全国仅有的几个采取自建创投平台与基金方式进行产业孵化的新型研发机构之一,旗下市场化投资平台沈阳盛科私募基金管理有限公司(盛科创投)在管、在建及参与基金10只,基金总规模14.7亿元。沈阳产研院承接先进技术成果沈阳转化中心、人工智能应用中试基地(医疗健康领域医学检验方向)等国家级重大战略平台,是世界工业技术研究组织协会正式会员,搭建包括清华、北大创新创业实践基地等创新平台10余个。在理事会的领导下,沈阳产研院正助力沈阳打造重大技术创新策源地,当好沈阳科技创新的“排头兵”,全力迈向东北区域综合类国家技术创新中心的战略高地。沈阳盛科私募基金管理有限公司(简称“盛科创投”),成立于2021年11月,是沈阳产业技术研究院的市场化科技成果转化与硬科技投资平台,是产研院构建“科技+产业+金融”生态体系的重要组成部分。盛科创投管理的首只基金产品——沈阳市盛科成果转化基金是沈阳的首支科技成果转化基金,该基金于2023年4月完成产品备案进入运营阶段。经过3年的快速发展,盛科创投已累计建设、管理及参与的基金产品10只,已投资科技成果转化及科技创新项目30余个,2026年年底管理规模预计达到15亿元。盛科创投已经初步建设了覆盖科技成果转化的早期和成长期不同阶段的概念验证基金、转化基金、加速基金等产品,并通过建立中试基地专项基金以及新能源、新材料等领域垂直行业基金,形成了多层次的科技成果转化与创新投资体系。盛科创投后续将持续支持各类科技创新企业发展,探索科技创新投资新模式,为辽沈科技生态发展提供助力。以下为部分盛科创投投资企业:
新施诺(半导体AMHS晶圆自动搬运系统)、新松半导体(半导体晶圆精密传输设备)、美行科技(车载导航)、航燃科技(两机测试服务)、远程摩擦(摩擦材料)、中科金瓷(晶圆静电吸盘与加热器等)、冷芯半导体(半导体微型制冷芯片)、慧为科技(特种防爆机器人)、芯达半导体(涂胶显影设备)、鑫谱晶体(特种光学晶体材料)、科利医疗(近红外II区荧光成像系统)、盛科鑫通(小口径人工血管)、俊博科技(高端轴承)、煜达微电子(高精度MEMS传感器)、濮谦科技(柔性镀膜设备)、信缆智能(无人机一体化解决方案)、盛科九元(创新药研发及临床前CRO动物试验)等。

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