科创板开年的第一声锣响，落在射频电源赛道。
1月28日
策源资本基金投资企业
——深圳市恒运昌真空技术股份有限公司
（简称“恒运昌”，股票代码：688785）
在上海证券交易所科创板挂牌上市
不仅成为
2026年第一家登陆科创板的企业
也是策源资本新年开局以来收获的第四个IPO
恒运昌所在赛道指向半导体设备核心零部件的“硬骨头”——等离子体射频电源系统，也被誉为控制等离子体的“纳米手术刀”，直接决定芯片制造的工艺精度与产品良率，是半导体设备中最核心、技术壁垒最高的零部件之一，属于“卡脖子”问题最为突出的核心技术之一。
历经十年技术攻关，恒运昌构建了以信号采样与处理、相位锁定、同步控制为核心的技术体系，并形成产品化支撑体系，推出CSL、Bestda、Aspen三代产品序列，其中第二代产品已支持28纳米制程，第三代产品覆盖7-14纳米先进制程，均达到国际先进水平，成功打破海外垄断格局。截至2024年，恒运昌在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中市场份额位居榜首，成为国产替代的核心力量。
上市之后，恒运昌募投项目将围绕产能、研发与服务体系展开，覆盖产业化基地建设、核心零部件智能化生产运营、研发与前沿技术创新、营销及技术支持中心等方向，进一步强化交付能力与客户响应能力，同时拓展低频大功率射频电源、PVD直流溅射电源、远程等离子体源等产品储备，并探索在光伏、显示面板、精密光学等领域的应用延伸。
从“把钱投出去”到“把企业送到资本市场”，不仅考验企业自身的技术攻坚实力与商业落地能力，也是对资本战略眼光与赋能深度的双重检验。2023年10月，在恒运昌发展的关键阶段，策源资本以基金为载体，完成了对其的pre-IPO轮投资，用真金白银为企业提供支撑。
恒运昌的成功上市，印证了国资引导基金在支持硬科技企业突破关键技术、实现产业化方面的重要作用。
科创板“开年第一股”只是新一轮竞赛的发令枪。站在产业链重构与国产替代加速的时间窗里，策源资本将继续深耕硬核科技与先进制造领域，通过直投和基金双轮驱动，以更稳健的资本支持和更紧密的产业协同，加速推动企业完成从技术验证到规模生产的跨越式成长。
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