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【21】半导体材料行业(九):CMP耗材
作者:本站编辑
2025-11-30 14:39:39
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【21】半导体材料行业(九):CMP耗材
CMP(化学机械平坦化)技术被认为是当今唯一能够实现集成电路(IC)制造中晶圆表面全局平坦化的技术,是集成电路先进制程不可或缺的关键环节。在CMP工作过程中,涉及的耗材主要有:抛光液、抛光垫、钻石蝶、清洗液和其他材料。全球CMP抛光液和抛光垫市场相对集中,主要被美日企业垄断市场集中度较高,其中:美国CabotMicroelectronics(抛光液)和陶氏化学(抛光垫)合计占据全球70%以上份额。国内从事CMP耗材的上市公司主要有:安集科技、鼎龙股份等……
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