

超宽频探头适配技术:搭载X轴高速全闭环直线电机检测运动平台,支持15MHz-500MHz超宽频探头适配,可覆盖晶圆、IGBT模块、陶瓷基板、溅射靶材等多品类样品检测,解决不同样品“适配难”问题; 高速高精度扫描技术:实现1.5m/s最大扫描速度与10μm最小扫描精度,同时支持3D图像生成,兼顾各场景的检测效率与精度需求; 本土化全定制软件技术:搭载自研操作系统,支持功能定制、检测路径智能规划与输出格式自定义,搭配视觉定位系统,实现样品精准定位与高效编程。

超高频高分辨率成像技术:搭载自研高精度双驱直线电机扫描平台,实现1GHz高频信号采样与±0.5μm重复定位精度,可精准捕捉键合面纳米级细微缺陷,解决多层堆叠界面缺陷“检不出、检不准”的行业难题; AI智能算法突破:融入深度学习人工智能算法,实现缺陷自动识别分类与扫描-分析并行处理,在保障识别精度的同时,大幅提升量产检测效率; 全产线适配技术:采用双LoadPort设计,搭配EFEM系统实现晶圆自动上下料,支持SEC/GEM标准协议对接工厂信息系统,解决海外设备定制化难、产线适配差的痛点。
行业盛会,聚势而行;以展为媒,以合为赢。
4月24日,中国光谷科技会展中心3A41展位,我们带着诚意与实力,期待与您并肩,探索行业新可能,开启合作新征程!
