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2026年1月28日，鄂尔多斯市创新投资集团有限公司通过深圳市鹏远基石私募股权投资基金合伙企业（有限合伙）投资的国产等离子体射频电源系统行业龙头深圳市恒运昌真空技术有限公司（简称“恒运昌”，688785.SH）成功在上交所科创板挂牌上市，成为 2026年科创板首家实现 IPO 的企业，至此，市创投集团通过参股基金投资的上市企业已达六家。
恒运昌本次公开发行价为92.18元/股，上市首日股价最高触及390元/股，收盘报371.3元/股，较发行价上涨302.8%，公司总市值超过250亿元。
作为国内半导体设备核心零部件领域的标杆企业，恒运昌专注于等离子体射频电源系统、等离子体激发装置、等离子体直流电源及相关配件的研发、生产、销售与技术服务，同时引进真空获得和流体控制等核心零部件，围绕等离子体工艺提供整体解决方案。该公司是国内少数实现半导体级等离子体射频电源系统量产的企业，产品下游应用覆盖半导体、光伏、显示面板等国家重点战略行业。自成立以来，恒运昌先后推出 CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，成功打破了美系两大巨头MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。其中第二代产品Bestda系列可支撑28纳米制程，第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，达到国际先进水平，填补国内空白。目前，恒运昌的产品已批量交付拓荆科技、中微公司、北方华创等国内头部半导体设备商，并为中芯国际、长江存储等晶圆厂提供配套支持，是国内半导体领域首家出货额超亿元、首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。
文字：袁博、何佳乐
编辑：徐 娇
校对：王 婧
审核：周建雄
市创新投资集团
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