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MEMS传感器

作者:本站编辑      2025-11-18 22:18:00     0
MEMS传感器

MEMS传感器

传感器设计与仿真
MEMS 传感器设计与 COMSOL 有限元仿真服务!多种 MEMS 器件均可承接,包括惯性器件(加速度计、陀螺仪)、压力传感器(电容、压阻、金属型)、磁传感器、热式加计、气体传感器、流量计,外加压电类器件(BAW、SAW、FBAR)、非制冷红外探测器、微流体器件(微阀、混合器、色谱柱等),以及基于谐振原理的传感器及驱动检测电路设计等
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