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诚挚邀请
9月6日-8日中国国际光电博览会（CIOE）将在深圳如期举办，届时诚挚邀请您莅临5号馆5D19展位参观、交流及业务洽谈。
作为极具规模及影响力的光电产业综合性展会，第24届中国国际光电博览会将于2023年9月6-8日深圳国际会展中心举办，同期展会覆盖信息通信、光学、激光、红外、紫外、传感、创新、显示等版块，面向光电及应用领域展示前沿的光电创新技术及综合解决方案，掌握行业最新动向、洞察市场发展趋势、助力企业与光电行业上下游进行商贸洽谈，达成商业合作。
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公司简介
北京量拓科技有限公司核心团队由中国科学院力学研究所、北京理工大学、西北工业大学等国内著名高校和科研院所的资深专家组成，曾获得国家级和省部级科技进步奖。
公司依托中科院技术和人才优势，在国内率先开发了具有自主知识产权的椭偏仪、膜厚仪、偏振器件检测仪器及偏振光波检测仪器等系列高端产品，引领行业发展，为国内的纳米薄膜检测技术做出了重要贡献。公司坚持“以客户为中心”的原则，以市场为导向、以客户需求为基础，不断提升产品质量和服务水平；不断完善技术创新体系建设，积极推进与国际一流水平技术单位的合作与交流；不断提高科研水平和研发能力，增强企业核心竞争力，为客户提供一站式解决方案。
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展出产品
产品介绍：ET-S8100A 半导体薄膜检测系统
随着半导体行业不断实现摩尔定律，薄膜厚度越来越薄，芯片制造商必须实施有效的超薄电介质材料的过程监测。
椭圆偏振法是一种高灵敏度、非破坏性、非接触式的测量技术，能够用于任何透明和半透明介质。它可以测量从单原子层的纳米到几十微米的宽范围厚度区间。椭圆偏振法可以确定单层和多层的厚度，可以在一次测量中同时分析多层，并提取每层的膜厚。此外，它还允许通过提取n和n数据，从深紫外到近红外的宽光谱范围内来绝对表征材料的光学特性。
与其他光学技术不同，这种方法既不需要参考样品，也不需要像反射计那样的参考光束。此外，椭圆偏振法还具有超高精度的优点，因为可以测量不同波长下的光波的相位延迟差。因此，它可以分析复杂的膜层结构，如具有粗糙界面和未知材料成分的多层结构。
ET-S8100A全材质膜厚检测系统集成了超高精度的椭圆偏振法（SE）和高速高精度的光谱反射法（SR），用于完成薄膜制程中的测量挑战。
优点
★应用SE/SR方法对薄膜进行高精度、宽光谱单层和多层薄膜的分层与总厚度测量。
★支持测量硅、碳化硅、氮化镓、石英、玻璃、砷化镓和其他透明晶圆和薄膜材质。
★通过配置对应的模块，拓展晶圆翘曲、弯曲、厚度分布等关键尺寸和电阻率检测能力。
★在批量生产过程中实现高效准确的过程监控
★专业的应用工程团队可用于客户特定的薄膜模型开发、配方设置和检测系统搭建。
晶圆尺寸和薄膜厚度适用范围
选配适晶圆尺寸直径：100mm、150mm、200mm、300mm
衬底可识别厚度：选配最大2000um
薄膜厚度范围：0.1nm-120um
针对衬底与薄膜同质膜厚检测条件下，厚度范围：0.3um-30um
多种配件组合与材质适用范围
选配自动晶圆加载、对准、字符识别、数据系统上传、历史数据追踪等功能，适用于任何透明或半透明材质衬底上的任何透明或半透明材质的薄膜厚度检测，衬底与薄膜材质可相同或不同。
产品介绍：ES01光谱椭偏仪
ES01系列是量拓科技针对科研和工业环境中薄膜测量推出的高精度、快速摄谱型光谱椭偏仪，波长范围覆盖紫外、可见到红外。仪器基于高灵敏度光谱探测单元和光谱椭偏仪分析软件，主要用于测量单层和多层纳米薄膜的层构参数（如，厚度）和物理参数（如，折射率n、消光系数k或介电函数ε1和ε2），也可用于测量块状材料的光学性质。
光谱范围
U：245-1000 nm； V：370-1000 nm；
NIR：900-1700 nm UI：245-1700 nm
VI：370-1700 nm DIX：190-2100 nm
其它波长：可定制
载物台
可进行高低调节，行程10mm
可进行二维俯仰调节，范围±4°
可放置的最大尺寸：8吋（200mm）
可放置的最大尺寸：12吋（300mm）
也可定制其它样品尺寸：
入射角度
●（A）自动变入射角度：30°-90°
●（M）手动变入射角度：40°-90°
●（F）固定入射角度
产品介绍：EW1000波片检测仪
EW1000 是一款高精度、宽光谱专用波片检测仪。EW1000 采用国际先进的椭偏光学调制测量原理、专门用于波片的全面质量检测，如相位延迟差、快慢轴、透射率测量。EW1000 适用于波片生产过程中的质量监控、质量终检、 以及新型波片研发中。
技术优势
● 无接触、不破坏 ● 快速测量 ● 检测灵敏度高 ● 宽光谱范围 ● 一键式操作 ● 明确判断快慢轴 ● 波片与基板可一同检测
可获得
● 相位延迟 ● 透过率 ● 快轴方位角 ● 均匀性
应用领域
● 波片生产过程中的质量监控、质量终检
● 新型波片研发
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奖品活动
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北京量拓科技有限公司
联系电话：010-89535610
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