YiNGUAN
—隐冠半导体—
2023慕尼黑
上海光博会
“Laser World of Photonics
China 2023”
2023年7月11日-13日 JULY 11-13,2023
国家会展中心（上海）
展位号：6.1E120
行业盛会如约而至
隐冠邀您一同见证精彩
关于隐冠/YiNGUAN
上海隐冠半导体技术有限公司（“隐冠”）于2019年成立，拥有上海、苏州吴江两大基地，是一家从事半导体核心零部件研发、生产与销售的企业。
隐冠专注于精密运动控制系统研发与生产，为精密运动定位及控制提供优越、可靠的解决方案，着力解决半导体装备关键核心部件的产业化问题。公司产品主要包括纳米级精密运动台、压电陶瓷产品及致动器、特种电机产品以及控制与传感器等，打造精密运动台、特种电机、压电产品、驱控产品四大产线，规划嵌入式软硬件产品产线，配备先进的精密运动控制测试平台和一批专用工具，能够为高端设备和精密零部件产品研发生产提供良好的生产测试条件。
隐冠致力于解决国家半导体装备领域核心技术的“卡脖子”问题，坚持以国家需求和客户需要为导向，注重产品研发和技术创新，倾力为客户提供拥有自主知识产权的可定制化服务，实现国产替代。隐冠让运动简单、精确、稳定、高效，自主研发的多款运动台产品已在各大FAB厂中稳定运行。隐冠的技术与产品亦可拓展运用于智能制造自动化精密仪器、3C电子、PCB等泛半导体设备领域。
部分展品/Exhibits
二维精密转台（Gimbal Stage）
平台特性
?两轴360°无限制旋转万向节系统
?高动态响应、非接触力矩电机驱动
?高刚度、高精度交叉滚子轴承设计
复合式二维平台
（Planar Platform）
平台特性
?柔性结构设计，可通过Y1,Y2电机调整偏摆
?复合式导轨设计，保证全局平面度
?内置Z轴磁浮重力补偿
?T 轴360°转动
?可配置高性能高反力主动减振系统
磁浮多轴运动台
（Maglev Multi-axis Stage）
平台特性
?集成式3轴平台，正交性设计
?全局平面度、直线度达微米级
-X轴
?高刚度防蠕变交叉滚柱导轨
?无线缆扰动力设计
-Z轴
?垂向磁悬浮重力补偿，实现极高定位精度
?高刚性、高精度导向设计
?垂向增量光栅，最高可实现5纳米分辨率
?超薄型、轻量化设计
?垂向最大可支持25mm行程
-Rz轴
?360旋转，无管路缠绕，支持12’、8’晶圆真空吸附
?支持最大±0.7mm翘曲晶圆
多轴精密运动系统
（Planar-Series XY Stage）
平台特性
?高动态响应、非接触直线电机驱动
?高精度的线性光学编码器反馈
?高刚度防蠕变交叉滚柱导轨设计
?极为优越的定位精度和动态性能
高真空XY运动台
（High-Vacuum XY Stage）
平台特性
?适用于10-5Pa及以下超高真空环境
?低释气率、低发热真空直线电机驱动
?独特的直线电机磁屏蔽设计
?平台材料可选非磁性材料，整体漏磁可达nT级
?优异的速度波动和位置稳定性
盘式电机模组（AFM Module）
模组特性
?电机无cogging设计、高推力密度紧凑设计，实现极低的断面高度
?高动态响应、非接触式盘式电机直驱
?高精度的光学式线性编码器反馈
?极为优异的定位精度和动态性能
真空吸盘(Vacuum Chuck)
?应用于半导体检测
?国产碳化硅陶瓷材料和加工工艺
?功能/特性· 晶圆吸附，减少Particle，改善产率
静电吸盘(Electrostatic Chuck)
?库伦型静电吸盘
?支持双电极，多电极设计
?适用于10-5Pa及以下超高真空环境
?静电吸附力大，24H残余吸附力>60%
?吸附面全局面型可达μm级
?吸附面表面图形可定制
?适用于无磁环境
定制化产品可予垂询
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活动信息
展会地址：上海|国家会展中心
隐冠展位：6.1馆 6.1E120
现场联系人：王雨婷 18621726102
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