简单来说,Lot 就是批次,在半导体工厂里,它指的是一组晶圆,或者说一批同时进行加工的产品。
你可以把它理解成生产线上的一个「最小生产单元」。在晶圆制造过程中,晶圆不是一片一片单独加工的,而是按批次成组流转,这一整组晶圆就叫做一个 Lot。从进炉、光刻、刻蚀到检测,整个生产流程里,同一个 Lot 里的晶圆会始终作为一个整体在各个工站之间传递,共享完全一致的工艺条件。
那一个 Lot 里通常有多少片晶圆呢?
这个数量并没有绝对统一的标准,具体要取决于工厂的设备规格和生产要求,但行业内有非常主流的配置。熟悉半导体生产的朋友都知道,晶圆在车间里是放在 FOUP(前开式晶圆传送盒)里运输和存储的,而通常一个 FOUP 里正好就能装下一批 Lot。
按照目前 12 英寸晶圆厂最通用的标准,一个典型的 Lot 一般包含25 片晶圆,这也是行业里最常见的配置。当然不同产线、不同尺寸的晶圆会有差异,但数十片这个量级是普遍共识。
别看这只是一个小小的名词,它却是半导体生产管理里最基础的单位。生产调度、工艺追踪、良率统计,全部都是以 Lot 为单位进行的。搞懂了 Lot,也就看懂了晶圆厂生产流转的基本逻辑。
