
2026年7月,由安徽亚格盛电子新材料有限公司牵头、芜湖市标准化研究院等单位联合编制的电子行业标准《电子级乙硅烷》(SJ/T 12052-2025)正式施行。该标准是芜湖立足新一代信息技术产业赛道,以标准化建设赋能半导体产业链自主可控的标志性成果。
电子级乙硅烷作为先进集成电路制造中不可或缺的核心电子特气,广泛应用于薄膜沉积、硅外延生长等关键工艺环节,属于半导体产业链“卡脖子”配套材料。《电子级乙硅烷》行业标准系统规定了产品的技术要求、试验方法、检测规则、标志、包装及贮存等全流程规范,填补了国内该领域行业标准的空白,为产品质量管控与市场准入提供了权威依据。
来源:芜湖经济技术开发区
