

- 等级划分(半导体壁垒最高)
ISO1-3 级:先进制程(3/7nm 晶圆、HBM 存储),造价是普通厂房 5-10 倍,国内仅少数企业可承接; ISO5-7 级:成熟制程、先进封测、面板; ISO8-9 级:光伏、锂电、普通电子、医药 GMP 车间。 - 需求爆发底层逻辑(2026 景气核心)
AI 驱动存储 / HBM 扩产、国内晶圆厂持续新建、海外台积电 / 美光东南亚建厂三重共振;洁净室 CAPEX 占晶圆厂总投资 25%-30%,行业 2025-2030 国内复合增速 14.2%,2030 年国内市场规模突破 2000 亿。 - 下游需求结构
半导体(41%,最大增量)> 生物医药(26%)> 显示面板 > 光伏锂电 > 精密光学;HBM 存储厂房是高价值增量,美光明确洁净室是产能扩张最大瓶颈。
洁净室产业链全景(上游设备耗材→中游工程总包→下游应用)
(一)上游:洁净室核心设备 & 材料(国产替代主线,耗材具备持续复购)
洁净室的 “硬件心脏”:分为四大赛道
1、空气净化系统(洁净度核心,价值占净化投入 40%-60%)
FFU 风机过滤单元:车间层流送风核心,每万平厂房数千台,国内龙头美埃科技市占 27%; HEPA/ULPA 超高效过滤器:拦截 0.12μm 微颗粒,先进制程必备,耗材属性,每 1-2 年更换; AMC 化学过滤器:吸附气态分子污染,适配 3nm 以下先进产线,外资长期垄断,国产加速突破。代表个股:美埃科技 (688376)、创元科技 (000551,苏净集团)、再升科技 (603601,玻纤滤材上游)
2、超高纯流体系统(特气 / 纯水 / 药液输送,先进制程刚需)
洁净车间所有工艺气体、清洗纯水、化学品传输管路、阀门、腔体,杂质控制到 ppb 级,认证壁垒极高。代表个股:新莱应材 (300260,高纯不锈钢管道 / 阀件)、至纯科技 (603690,高纯清洗设备 + 厂务系统)、正帆科技 (688596,特气管道系统)
3、围护结构材料(厂房土建配套)
洁净彩钢板、环氧高架地板、气密门窗、防静电板材,竞争充分,国产化率 70%+。代表个股:扬子新材、国风新材(防静电 PI 膜)
4、厂务配套设备(废气、温控、自控)
洁净车间废气处理、MAU 空气处理机组、FFU 集中监控系统。代表个股:盛剑环境 (603324,半导体特种废气治理龙头)
(二)中游:洁净室 EPC 工程总包(整条链价值量最高、业绩弹性最大)
承接整座厂房设计、施工、二次配、运维一体化总包,项目周期 6-18 个月,2025 下半年大额订单集中在 2026Q2-Q4 确认收入,是本轮行情主线龙头。分两大阵营:台资海外龙头 + 内资央企龙头
台资(海外晶圆厂订单爆发):亚翔集成、圣晖集成 内资央企(国内晶圆 / 存储项目主力):柏诚股份、太极实业(十一科技)、深桑达 A(中电二 / 中电四)、华康世纪(医药洁净打底)
(三)下游:需求端(决定行业景气度)
半导体制造 / 存储 / HBM 封测:长鑫、长存、中芯、台积电、美光(核心增量) 生物医药 CDMO、疫苗 GMP 车间 显示面板、光伏、动力电池精密车间
产业链核心环节(两大高壁垒核心)
核心 1:中游 EPC 工程总包(行情弹性之王)
价值占比:单座晶圆厂洁净工程占总投资 25%-30%,单项目订单十亿级别; 壁垒:ISO1-3 级超高洁净厂房工艺 know-how、海外 SEMI 认证、大型项目交付经验,新玩家无法短期切入; 业绩规律:订单滞后 6-12 个月确认收入,2025 年行业签单大年,2026 二季度进入集中交付窗口,利润逐季抬升; 核心优势:海外建厂增量(台积电、美光东南亚扩产)打开第二增长曲线,亚翔 / 圣晖海外订单占比超 70%。
核心 2:上游空气净化 + 高纯流体设备(国产替代长逻辑,耗材复购稳定)
FFU/ULPA 过滤器:洁净度的基础,新建厂房刚需 + 存量产线每年更换,现金流稳定;美埃科技国内唯一全覆盖半导体头部存储厂; 高纯管路系统(新莱应材):全球半导体设备一级认证稀缺标的,国产替代空间最大,20cm 弹性品种; 壁垒:设备厂、晶圆厂 2-3 年长期认证周期,一旦导入长期锁定供货。
细分赛道核心个股 + 2026 二季度业绩机构预测(截至 6.27 券商一致预期)
信息仅供参考,不构成投资建议
(一)中游 EPC 工程
- 亚翔集成 603929
业务:高端半导体洁净室总包龙头,可承接 ISO1 级,绑定台积电、美光;2026 年斩获 31 亿新加坡晶圆厂大单,海外收入占比 73%;2025 全年新签 71 亿订单,同比 + 97%。 Q2 业绩预测:归母净利润 0.9-1.1 亿元,同比 + 110%~140%;2026 上半年净利 1.5-1.8 亿,增速超 100%;逻辑:海外大额项目二季度集中交付,毛利率提升至 28%-32%。 - 柏诚股份 601133
业务:内资洁净工程龙头,A 股洁净工程营收规模第一,绑定长鑫、华虹、京东方;2026 年前 4 月新签合同超 2025 全年。 Q2 业绩预测:归母净利润 1.2-1.4 亿,同比 + 45%~60%;国内存储、面板项目集中结算,内资项目回款优于台资。 - 圣晖集成 603163
业务:台积电全球配套,EPCO 全流程,越南 / 泰国海外项目充足,在手订单 21.8 亿。 Q2 业绩预测:归母 0.42-0.48 亿,同比 + 70%~90%;东南亚新建封测厂房交付放量。 - 太极实业 600667(十一科技)
业务:国内洁净工程市占近 70%,央企平台,绑定长存、长鑫、中芯;在手未结算订单 430 亿,覆盖 2-3 年营收;洁净工程 + HBM 封测双主业。 Q2 业绩预测:归母 6.2-6.8 亿,同比 + 20%~28%;存储厂房总包交付,封测业务稳定贡献利润,增速稳健、波动小。 - 深桑达 A 000032(中电二 / 中电四)
业务:电子洁净厂房国家队,国内大额存储、先进封测总包主力。 Q2 业绩预测:归母 2.1-2.4 亿,同比 + 35%~45%;国内新建算力封测厂房落地。
(二)上游空气净化设备(稳健成长,耗材复购)
- 美埃科技 688376
业务:FFU 国内龙头,半导体 FFU 市占 27%,供应长存、长鑫、中芯,设备 + 过滤器耗材双轮驱动,毛利率 30%-38%。 Q2 业绩预测:归母 0.75-0.85 亿,同比 + 50%~65%;存储 HBM 厂房 FFU 批量采购,过滤器耗材替换需求增长。 - 创元科技 000551(苏净集团)
业务:老牌洁净空气设备全套供应商,覆盖国内 12 寸晶圆厂。 Q2 业绩预测:归母 0.52-0.58 亿,同比 + 32%~40%。 - 再升科技 603601
业务:ULPA 玻纤滤材上游原材料,美埃、苏净核心供应商,耗材持续放量。 Q2 业绩预测:归母 0.48-0.54 亿,同比 + 25%~35%。
(三)上游高纯流体管道 / 设备(国产替代高增速)
- 新莱应材 300260
业务:EP 高纯不锈钢管、真空阀件,全球头部半导体设备一级认证稀缺标的,半导体 + 医药双赛道。 Q2 业绩预测:归母 0.88-0.98 亿,同比 + 80%~100%;国内成熟 / 先进制程扩产带动管路国产化导入,单季度毛利率修复至 35%+。 - 至纯科技 603690
业务:高纯湿法清洗 + 厂务超纯水系统,14nm 以下先进制程全覆盖。 Q2 业绩预测:归母 0.65-0.72 亿,同比 + 40%~55%;先进封装、存储清洗设备订单交付。 - 正帆科技 688596
业务:超高纯特气输送系统,配套中芯、长鑫。 Q2 业绩预测:归母 0.58-0.64 亿,同比 + 30%~42%。
(四)厂务废气配套
盛剑环境 603324
业务:半导体洁净车间特种废气治理,等离子废气去除率 99%+。 Q2 业绩预测:归母 0.36-0.41 亿,同比 + 55%~75%;新建晶圆厂废气系统同步洁净工程交付。
下游晶圆厂资本开支不及预期,洁净工程交付延期; 工程行业竞争加剧,总包毛利率下滑; 海外地缘政策影响东南亚建厂项目落地; 半导体周期下行,存量厂房技改需求减弱
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