广东省科学技术奖由广东省科学技术厅主办并组织评选，是广东省科技成果领域最高荣誉，用于表彰为科技进步、经济社会发展作出突出贡献的单位与个人。该奖项每年申报项目达数千项，评审标准严苛、行业竞争激烈，2025年度整体获奖比例仅14%，一等奖优中选优，代表年度突破性原创技术成果与突出产业价值，奖项含金量极高。
该项目依托成熟产学研协同创新体系，攻克高精度数字光刻系列核心技术瓶颈，自主研发LDI成套装备，依托本次项目研发积淀，研发团队面向下一代LDI装备完成关键技术重大突破，多项核心性能指标实现跨越式提升，在下一代数字光刻装备赛道形成全方位、系统性领先优势。
本次获评省科技进步一等奖拟奖，充分佐证企业在微纳光学、精密数字光刻装备领域深厚核心技术实力，将有力加速高端数字光刻装备国产替代进程，赋能国内电子制造产业高质量发展。
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来源：科视光学
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