一、半导体靶材是什么
芯片制造的物理气相沉积(PVD)工艺中,溅射靶材是核心耗材。简单来说,就是通过高速粒子轰击靶材表面,将靶材原子沉积到晶圆上,形成芯片内部的金属导线、隔离层等结构,靶材质量直接影响芯片性能和良率。
靶材行业准入门槛较高:先进制程芯片用靶材纯度要求达到99.9995%以上,对金属微观结构工艺控制严格,且晶圆厂对供应商的认证周期较长,因此该市场长期由美国霍尼韦尔、日本JX金属等海外企业主导。近年来,国内企业技术逐步突破,市场格局正在发生变化。
二、靶材市场受关注的核心原因
1. AI算力需求拉动:AI芯片发展带动先进制程、先进封装技术需求增长,这类芯片对靶材的消耗量高于普通芯片,随着AI应用落地,高纯金属靶材需求持续增加。
2. 供给端存在约束:全球高端靶材产能集中于少数海外企业,地缘政治变化下关键金属出口管控增加了海外企业原料获取成本,扩产节奏相对受限,行业供需关系偏紧,市场对产品价格调整预期较强。
3. 国产替代加速:国内一批靶材企业逐步掌握核心技术,例如江丰电子的部分产品已应用于5nm、3nm节点芯片制造,进入台积电、中芯国际等头部晶圆厂供应链。
三、靶材国产化的发展进程
超高纯溅射靶材曾是国内半导体产业链的薄弱环节。经过多年技术攻关和产业整合,国内企业逐步突破超高纯金属提纯、靶材制造等核心技术,在铝、钛、钽、铜等品类实现产业化,部分产品达到国际先进水平,显著降低了对进口产品的依赖。
目前,12英寸高纯钽靶材已通过头部晶圆厂验证并批量应用,市场份额逐步提升;显示面板、光伏领域的ITO靶材、钼靶材也稳步发展,部分产品进入国内外主流产线,并向半导体先进封装领域延伸。
四、相关企业梳理
1. 有研新材(600206)
推荐理由:子公司有研亿金具备超高纯金属提纯、靶材制造到回收的全流程能力,掌握高纯度提纯技术,是国内较早实现12英寸铜、钴、钛靶规模化量产的企业,产品进入长江存储、中芯国际、台积电等头部晶圆厂供应链,在存储芯片用靶材领域国产化进度领先。
跟踪信号:存储厂商产线扩产节奏、新客户认证进展、产能释放情况。
2. 隆华科技(300263)
推荐理由:在显示面板靶材领域处于国内领先位置,子公司分别布局钼靶和ITO靶材,钼靶产能规模较大,客户覆盖京东方、三星等全球主流面板厂商,2026年进入三星供应链批量供货。同时布局半导体靶材和钙钛矿靶材,是国内较早实现钙钛矿靶材批量供货的企业。
跟踪信号:半导体靶材客户认证进度、钙钛矿业务订单增长、海外客户拓展情况。
3. 欧莱新材(688530)
推荐理由:国内显示面板靶材领域的重点企业,产品涵盖铜、铝、钼、ITO等靶材,已进入半导体封装材料供应体系,部分靶材产品供应复合集流体领域客户,围绕高端新材料国产替代布局多类业务。
跟踪信号:半导体封装靶材订单增长、复合集流体业务拓展、新产能建设进度。
4. 安泰科技(000969)
推荐理由:国内先进功能材料重点企业,显示面板用大尺寸钼靶已规模化供货,半导体用高纯钨钼靶材通过主流客户认证并批量生产,同时在钨钼材料领域的技术积累可支撑多赛道业务协同。
跟踪信号:半导体靶材批量供货进度、新业务订单落地情况。
5. 金钼股份(601958)
推荐理由:国内钼资源龙头,实现从钼粉到钼靶坯的全流程生产,量产5N级高纯钼靶材,大尺寸靶材已批量供货国内晶圆厂,2025年通过三星认证成为其钼靶供应商,逐步从资源型企业向高端材料企业转型。
跟踪信号:海外客户订单增长、高纯度靶材试验线建设进度、半导体客户拓展情况。
6. 东方钽业(000962)
推荐理由:全球钽制品主要生产商,钽丝、钽粉全球市占率较高,已实现高纯钽粉到12英寸钽靶坯的全流程技术突破,半导体钽靶材业务占比逐步提升,定增项目聚焦钽靶材扩产。
跟踪信号:定增项目产能释放进度、半导体靶材客户认证情况。
7. 贵研铂业(600459)
推荐理由:国内贵金属材料龙头,突破半导体用贵金属靶材关键技术,部分产品通过国内主流芯片企业验证并小批量供货,在贵金属靶材这一细分赛道具备差异化优势。
跟踪信号:贵金属靶材批量供货进度、订单增长情况。
8. 豫光金铅(600531)
推荐理由:国内大型稀贵金属冶炼企业,处于半导体靶材产业链上游,定增项目聚焦先进稀贵金属材料智造,可提供靶材生产所需的稀贵金属原料,在产业链上游具备卡位优势。
跟踪信号:定增项目建设进度、稀贵金属价格波动、下游靶材企业需求变化。
免责声明:本文仅为行业及相关企业的基本面信息梳理,不构成任何投资建议或投资推荐。证券市场存在风险,应结合自身风险承受能力,基于独立判断做出投资决策。
