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前言
在刚刚落幕的2026合肥半导体展同期会议上，科慕公司发表了主题演讲。演讲中指出：随着晶圆制程微缩与真空环境愈发苛刻，设备润滑的竞争核心已悄然转向“超低挥发率与化学惰性”的极限挑战。目前，全球超过80%的先进半导体产线中，Krytox™氟素润滑剂已成为真空泵、刻蚀机、回流焊炉等核心设备的标准配置。润滑脂，正在成为芯片良率的关键守护指标。
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出身航天，性能“开挂”
Krytox™诞生于1959年杜邦实验室，曾助力美国阿波罗登月计划，被誉为润滑领域“皇冠上的明珠”。它由全氟聚醚（PFPE）和特氟龙（PTFE）完美组合，分子结构中不含氢，因此具备无与伦比的化学惰性、耐高温（长期耐受300°C）、极低挥发（蒸气压低至10⁻¹⁵ torr）、优异绝缘性及广泛材料相容性。同时满足RoHS、REACH等多项法规，安全无毒，是半导体真空与洁净环境的理想之选。
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覆盖全制程：
从真空泵到高温回流焊
Krytox™针对半导体行业开发了多系列产品：
VPF真空泵油（如1506/1514/1525系列）获Edwards、Busch等全球主流泵厂认可，超低蒸气压确保真空系统长期稳定。
真空/洁净室润滑脂（如LVP、240AC、EG系列）用于CVD、刻蚀、离子注入等设备中的阀门、轴承、机器人关节。
超高温油脂XHT系列专为SMT回流焊炉设计，短时耐受350°C，保障导轨、链条、丝杆无油泥、不挥发。
GPL通用油脂及热传导液还用于冷却、冷热冲击测试等场景。从刻蚀到封装，Krytox™的身影贯穿芯片制造全程。
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展会结语：
高性能润滑助力国产芯提速
随着国内晶圆厂扩产与设备国产化浪潮，氟素润滑剂等关键辅材的价值日益凸显。科慕作为全球氟素润滑领导者，持续为半导体行业提供“免维护、终身润滑”的可靠方案。欢迎持续关注我们展会后续活动，与科慕专家面对面，共同探讨如何用极致润滑赋能中国“芯”制造。
展会是短暂的，价值升级是长期的。
我们明年合肥再会！
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