嘉宾分享：平台实践与生态思考
深圳超滑技术平台 副主任 夏凯 以“深圳超滑技术微纳加工平台助力半导体与集成电路产业”为题作开场分享。他介绍了超滑技术平台的建设背景与工艺能力。平台于2021年在深圳坪山落成，平台拥有世界一流的自超滑研发/微纳加工设备，主要工艺能力包括：光刻、镀膜、刻蚀、键合，抛光，表征测试，封装，器件测试等，平台在微纳加工领域为企业、科研院所及高校提供工艺整合、共同工艺开发等技术服务。夏凯主任指出：自超滑，零磨损、接近零摩擦，自超滑技术是目前解决摩擦磨损问题最重要的手段之一。他介绍平台已成功研发MEMS射频开关、微动发电机、超滑微特电机等多款核心产品。他表示，深圳超滑技术平台将持续聚焦自超滑共性技术，助力深圳乃至全国半导体产业破解摩擦磨损等难题，加速创新成果从概念验证走向产业化落地。
（深圳超滑技术平台副主任夏凯演讲）
深圳汉希卡德研究院 副院长 朱瑞 以“微纳平台驱动MEMS传感器企业生态发展”为主题，分享了德国Hahn-Schickard研究院四十年的MEMS技术积累与产业化经验。他介绍了Hahn-Schickard作为欧洲领先的微系统技术研究机构，已服务博世、西门子、英飞凌等全球龙头企业，承担项目276项，服务企业及机构495家。基于这一模式，深圳汉希卡德研究院落地南山区，通过搭建MEMS中试平台、设计开发中心、应用技术研究中心、人才培训中心、测试标定中心和孵化加速中心，为企业提供从芯片设计、工艺开发到小批量试制的“虚拟IDM”服务。朱院长指出，国内MEMS产业高端产品仍依赖进口，深圳缺乏制造与封测集群，微纳加工平台是补齐技术产业化短板、赋能中小企业创新的关键力量。
（深圳汉希卡德研究院副院长 朱瑞 演讲）
深圳市微纳制造产业促进会 会长 王大伟 以“以微纳制造为核心打造创新生态－因地制宜发展新质生产力”为题作分享。她从技术产业化生态的视角出发，分析了微纳制造技术赋能百业的底层逻辑，指出微纳制造技术与数字化技术呈现“拉链式”协同成长，持续催生“硬早小”（硬科技、早期、中小企业）创新项目。不同区域在培育微纳制造生态上各有禀赋：华东、华西地区擅长培育“技术生态类”硬早小企业，而华南尤其是深圳则擅长培育“应用场景类”硬早小企业。王大伟会长进一步强调，促进会已搭建线上线下综合产业化服务中台，发起全国微纳加工平台技术生态联盟，并分享了促进会以微纳制造技术赋能黄金珠宝业转型的标杆案例。她指出，秉持“微纳制造赋能百业”理念，促进会将持续推动微纳制造技术在“衣、食、住、行、娱”等领域的跨界应用及更多传统产业的转型升级。
（深圳市微纳制造产业促进会 会长 王大伟 演讲）
研讨交流：直面加工平台痛点，共商产业化协同路径
在研讨环节，与会嘉宾围绕“微纳加工平台如何破解产业化难题”展开热烈讨论。来自MEMS传感器、先进陶瓷、柔性电子等领域的企业代表分别提出了微纳加工工艺开发周期长、小批量试制成本高、知识产权等共性痛点。平台代表则对企业关心的知识产权保护、合作模式灵活度等问题进行了回应。
与会嘉宾一致认为，微纳加工平台作为“工业母机”级别的公共基础设施，是降低中小企业研发门槛、推动技术产业化的关键支撑。当前亟须微纳加工平台联盟对各加工平台进行统筹联动，建立跨区域、跨平台的设备数据库、耗材集采与需求对接机制，切实改善平台之间、平台与企业之间的资源共享与需求对接，真正打通从实验室到产业化的“最后一公里”，为培育新质生产力夯实底层技术底座。
