2026年6月6日，中国电工技术学会等离子体及应用专业委员会第十七期“等离子体与芯片制造”前沿交叉论坛将在北京亦庄隆重举办。论坛涵盖等离子体基础理论、模拟方法与诊断技术，重点关注等离子体在光刻、刻蚀、薄膜沉积、量检测等芯片制造核心工艺中的基础科学问题与关键共性技术。
脉动科技受邀参，届时，脉动科技将展出多款激光器产品，并有专业人员在展位随时欢迎业内人士莅临交流。
第十七期“等离子体与芯片制造”前沿交叉论坛
等离子体及应用专业委员会立足电气工程学科，与高电压绝缘技术、脉冲功率技术、等离子体物理及应用等方面交叉融合，强调低温放电等离子体技术研究和应用，主要涉及利用高压放电产生低温等离子体，及其在材料改性与制备、生物医学、能源化工、环境保护、航空航天等领域的应用。
★会议主题: 等离子体与芯片制造
★会议时间：2026年6月6日（星期六）
★主办单位：中国电工技术学会等离子体及应用专业委员会
★会议地点：北京 亦庄
脉动科技重点宣传产品
01
俄罗斯激光等离子体极紫外光源（EVU,13.5nm）
★LPP EVU Source(13.5nm) for Inspections
★Up to 45mW @ 13.5nm+/-1%,0.05sr
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02
激光等离子体宽带光源XWS
★波长：190-2500nm 功率：1500mW
★应用：光谱学、高分辨率显微技术、薄膜测量、表面计量等
03
Optosystems公司准分子激光器系列
脉动科技经营的准分子激光器覆盖以下技术指标，可应对各种特定的应用场景，主要有：
★波长：193nm, 248nm, 308nm；
★脉冲能量范围：20mJ-1000mJ；
★重复频率段位：10Hz,100Hz，
1000Hz,4000Hz,6000Hz；
★线宽：普通线宽，1pm, 0.35pm。
★详情可点击➜ 深紫外激光利剑——准分子激光器
量子级联激光器（QCL）原理、发展历史及应用
