12寸集成电路生产线回收水主要是分别收集处理机台的初道冲洗水（FRD）和末道冲洗水（LRD），水中主要含TOC、SS及偏酸性，回收处理后排至超纯水预处理段的过滤水箱，由于某项目的占地面积有限，出水指标偏高。本文从占地面积、能耗及运行成本、系统回收率、货期进行4个方面及国内同等项目对比，优化出水指标，优化处理工艺，达到在有限的空间内，将回收水处理满足进纯水处理系统的标准。
12寸集成电路生产线回收水处理工艺优化与应用研究
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2026-05-09 02:43:10
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12寸集成电路生产线回收水处理工艺优化与应用研究
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