

近日,2026上海国际半导体展览会(SEMICON China 2026)在上海新国际博览中心展开,作为国际三大顶级传感器展会之一、亚太地区规模领先的半导体产业盛会,本届展会吸引了超 1500 家参展企业、18 万名专业观众参与。嘉定工业区企业上海捷热科技有限公司和盛密科技(上海)有限公司纷纷携新品亮相。

捷热科技是一家专注于超高精度测控温产品设计、研发、生产及销售的国家高新技术企业。这次展会发布的测压(温压一体)系列产品,在国内首次实现了从单一温度监测向温压协同测量的跨越。
在高精产业制造的刻蚀、沉积等工艺步骤中,需要测量产品在工艺过程中的温度变化和受力均匀情况,如果局部温度/压力过大或过小,轻则影响工艺一致性,重则导致产品破损、良率下降,甚至对设备造成损伤。国内以前采用的测量产品,压力和温度往往是分开测或不是同步获取的。但实际工艺中,温度和压力会互相影响,如果两个数据对不上时间、对不上位置,就很难判断工艺偏差到底是由什么原因导致的。

捷热科技的测压(温压一体)系列产品不仅能做到温压一体、同步测量,性能和实用性也非常扎实,精度高、响应快,耐过压、稳定性强,在真空和大气环境中都能适应。同时操作方便,在采集和使用上简单便捷,采样速度快,数据结果数据直接导出为Excel表格并实时传输到电脑。此外,系列产品具有有线、无线、微型等多种形态,能适应多种应用场景。
盛密科技则带来了由企业自主研发、100%自主知识产权和全国产化替代的高精度气体监测新品——GD-100气体监测器,监测器主要用于监测半导体制程、芯片、光伏电池板等高精产业生产过程中的各类特征泄漏气体。据了解,这些高精生产过程中需使用多种易燃易爆、腐蚀性、毒性、窒息性气体作为基础原料,如发生高浓度气体泄漏,会引发的生产安全隐患、产品品质缺陷等问题,对人员及厂房设备危害严重,因此,气体监测是非常重要的一环。

盛密科技的GD-100气体监测器突破技术封锁,做到100%自主知识产权和全国产化替代,采用全新的中文界面,大幅降低操作门槛,减少培训成本。产品能够实时同步显示气体浓度数值、动态趋势曲线、报警状态(颜色分级警示)三重信息,通过图标与文字结合方式直观显示。此外,使用方便,无需工具即可更换传感器模块,使用和维护效率更高。

GD-100气体监测器
盛密科技是一家气体和辐射检测传感器企业,产品应用于亚马逊雨林气候监测站、北极科考船舱室、5G芯片生产线等。成立十年以来,盛密科技已拿到多项专利。盛密科技(上海)有限公司总经理唐宣东说:“接下来,我们将继续立足于科技创新,潜心产品技术研发,坚持不懈地提高和完善产品的功能,同时,也会以实际行动为区域经济发展贡献自己的力量。”

