据韩媒DealSite报道,有观点认为,三星显示位于韩国忠清南道牙山的8.6代OLED生产线(A6)的量产计划可能会受阻。业界指出,静电吸盘(ESC)相关工艺稳定性问题成为关键变量。据传因ESC运作不畅甚至导致玻璃基板破损的案例已发生。据此分析,即便进入量产阶段,稳定良率的达成仍需一段时间。
同时,对IT OLED市场规模的谨慎态度也被视为负担因素。三星电子虽已将苹果纳入客户名单,但因市场增长速度未达预期,据悉正在考虑调整量产速度的方案。
据业界消息,三星显示在去年年底建设8.6代OLED生产线的过程中,因静电吸附装置导致大型基板的剥离与附着工序遇到困难。静电吸附装置利用静电力将玻璃基板紧密贴合于下部板,是维持大面积基板平整度以实现精密蒸镀的核心部件。此外,通过调节氦气与温度等参数,还能确保温度均匀性与剥离稳定性。
特别是在8.6代OLED工程中,静电吸盘正在成为左右量产稳定性的核心变量。因为与现有的第6代(1500mm×1850mm)相比,基板大型化为8.6代(2290mm×2620mm),需要控制重力带来的下垂。再加上OLED在真空环境中沉积有机物的工艺特性,要求基板的平坦度、温度均匀度和静电控制同时进行,因此静电吸盘的重要性得到了提高。

