氧化铝气浮导轨：采用99.5%高纯度氧化铝，密度3.7~3.95g/cm³，抗弯强度370Mpa。结合气体动静压原理，实现无摩擦无震动平滑移动，直线度≤0.005mm，平面度≤0.003mm，粗糙度Ra≤0.2μm，广泛用于高精密测量仪器。
碳化硅长条反射镜：基于碳化硅化学性能稳定、导热优异、热膨胀系数小的特性，密度≥3.1g/cm³，弹性模量≥410Gpa。平面度≤0.005mm，粗糙度Ra≤0.5μm，632.8nm波长反射率＞93%，适用于半导体与航空航天领域。
多孔陶瓷吸盘：采用碳化硅材料，密度3.1g/cm³，弹性模量≥400Gpa，表面电阻率10⁶~10⁹ohms/sq。直线度≤0.005mm，平面度≤0.003mm，粗糙度Ra≤0.2μm，在硅片测量与加工中表现稳定。
碳化硅气浮块：同样基于碳化硅优异性能，实现气体动静压无摩擦平滑移动。直线度≤0.002mm，垂直度≤0.002mm，平面度≤0.002mm，粗糙度Ra≤0.1μm，以亚微米级精度服务于半导体高端应用。
