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展会预热 | N5馆5284展台,上机科技碳化硅智能产线,“锭进片出”引领未来!

 作者：本站编辑  2026-03-22 10:32:47  0

在即将到来的SEMICON CHINA 2026展会上，我们将为您展示一套真正意义上的全流程无人干预解决方案——碳化硅智能产线，从晶锭到晶片，全程机械臂协同、AGV调度，开启“黑灯工厂”新纪元。

产线介绍

“锭进片出”全流程产线模型图

该产线串联12台主机、19道精密工序，实现晶锭到晶片的全自动蜕变。智能料库与AGV协同完成物料流转：Q8多工位整型机集成晶体定向、端面整型、外圆整型及参考面加工；清洗与贴蜡工序确保晶锭洁净固定；晶锭剥离复合加工设备，包含D5单头晶锭整形机，激光剥离，机械剥离，完成锭片转化；新生晶圆经边缘处理设备倒角抛光，消除微裂纹；A6全自动减薄机实现双面同步加工，TTV≤2μm；C5化学机械抛光机完成纳米级表面精修；最终经检测与终端清洗，达到洁净室出货标准。整线全程无需人工干预，以极致自动化重新定义碳化硅衬底制备效率与精度。