邀请函
INVITION
SEMICON®China
跨界全球·心芯相连
2026年3月25-27日
上海新国际博览中心
沈阳仪表院
展馆：N3 展位：3239
PART
01
展会概况
半导体行业盛会
2026上海国际半导体展览会（SEMICON CHINA 2026）将于2026年3月25日至27日在上海新国际博览中心举行。作为中国规模最大的半导体行业盛会，展会覆盖芯片设计、制造、封装测试及设备材料等全产业链，汇聚全球领先企业与行业专家，集中展示前沿技术与创新解决方案，为产业交流与合作提供重要平台。球顶尖企业的决策者、技术布道者与战略思想家，进行前沿技术的解读。通过此次会议我们一同探寻驾驭变革，聚焦创新，成为行业先驱。
PART
02
沈阳仪表院
行业引领者
沈阳仪表科学研究院有限公司始建于1961年，原隶属于机械工业部仪表司。1999年进入中央直接管理的国有重要骨干企业一一中国机械工业集团有限公司。2025年加入国机集团新组建的中国机械工业仪器仪表集团有限公司。沈阳仪表院作为我国仪器仪表工艺元件事业的重要奠基者，始终坚守“国家队”的定位与担当，自诞生之初就肩负起推动行业技术进步的使命，为我国工业现代化注入源源不断的科技动力。
沈阳仪表院重点研究发展仪器仪表及传感器、高端装备及关键零部件，业务领域覆盖科技研发、科技产业和科技服务。围绕机械、电子、光学、新兴信息技术这四大专业方向，立足于五大核心产品:传感器、弹性元件、光学器件、专用设备、检测服务。在传感器及智能感知技术、金属弹性元件技术、精密光学薄膜技术、高压水射流清洗技术、半导体工艺装备技术、管道智能检测与健康评价技术上处于国内领先、国际先进水平。
沈阳仪表院聚集“专精特新”发展道路，获评国家制造业单项冠军企业、国家专精特新“小巨人”企业、国家技术创新示范企业等多项荣誉，重点布局仪器仪表及传感器、高端装备与关键零部件等方向，业务通盖科技研发、科技产业与科技服务三大板块，聚焦机械、电子、光学与新兴信息技术交叉领域，技术产品广泛应用于航空航天，新能源、生物医学、半导体等战略性新兴产业，全力服务国家重大工程与战略需求。不断培育新质生产力，加快实现高水平科技自立自强。
PART
03
展会亮点
核心产品亮相
本次参展，沈阳仪表院将携高精度压力传感器、金属波纹管、半导体精密光学元器件等产品亮相展会。其中，高精度压力传感器采用了自主研发的MEMS芯片技术，具备±0.01%F.S的超高测量精度和-40℃至120℃的宽温工作范围，能够在半导体制造过程中的极端工艺环境下稳定输出压力数据，为晶圆蚀刻、薄膜沉积等关键环节提供精准的压力监测保障；金属波纹管则选用了耐腐蚀的哈氏合金材料，通过特殊的成型工艺制成，具有优异的密封性能和疲劳寿命，可有效隔离半导体设备中的腐蚀性气体和液体，确保设备长期安全运行；半导体精密光学元器件涵盖了反射镜、滤光片等，其光谱范围覆盖VUV、DUV及近紫外波段，能满足半导体光刻、量检测等高精度光学系统的严苛要求。这些产品均经过严格的可靠性测试和实际工况验证，充分展现了沈阳仪表院在半导体核心零部件领域的技术实力与创新成果。
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展位效果
展位N3馆--3239
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展位位置
展馆平面图
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