展品信息
2026/03/25
星期三
展位号：T2110
高精度感应加热电源
可适用于：碳化硅、碳化硅外延、MOCVD、蓝宝石、闪烁晶体等各种晶体，以及半导体提纯。
坩埚类型：石墨坩埚、铱金坩埚、铂金坩埚、钨钼坩埚等。
电 源优 势
高精度与智能控制
超高精度：输出功率与电流精度优于0.05%，分辨率达0.005%，支持1W级可控步长。
全数字化闭环：内置DSP高精度控制程序，不受电网波动、谐波等影响，确保稳定输出。
宽动态范围：稳定调节范围0.5%—100%，适应多种工艺需求。
高可靠性与连续运行能力
电网适应性强：支持电网跌落连续运行，毫秒至秒级闪断不影响长晶过程，确保无瑕疵生长。
智能自动重启：故障保护停机后，DSP可自动判断故障属性，电网与设备正常后自动恢复运行。
冗余与保护设计：支持双路电源无扰动切换；内置完善限制保护与故障诊断系统，最大限度保障生产连续性与设备安全。
强大通讯与自主控制
多种接口支持：RS485/RS232/Profinet/以太网接口，通讯控制和组网能力，数字式无差给定、无差读取、远程监控。
自带闭环控制单元及高精度工艺程序运行模块：可省去外部控制器（如欧陆表），预置温度或功率曲线，自主运行。
高EMI性能：抗干扰强，不干扰外部设备。
灵活定制与多样化设计
结构多样：支持封闭水冷、全空冷或混合机型，适应不同现场环境。
连接方式灵活：提供柔性同轴电缆、铜排、水冷电缆等多种输出连接。
按需定制：支持根据感应线圈逆向设计、频率、结构、颜色等个性化定制。
应 用领 域
合 作伙 伴
还有更多定制化方案、现场样机演示、工程师面对面交流等您来解锁！
巴玛克电气展位号： T2110展会时间：2026年3月25日-27日
我们在现场等您，不见不散！
