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展会信息
半导体产业作为现代科技的基石,正以前所未有的速度重塑全球经济格局与人类文明进程。
SEMICON China 作为规模最大、最具影响力的半导体行业盛会,将会给大家展示尖端科技应用、前沿技术突破,让你洞悉市场发展趋势。
诚挚邀请您莅临 SEMICON China 2026 展会,深入了解我们流体控制领域的解决方案。

? 展会地点:上海新国际博览中心
? 芯阀展台:N1-1783
? 展会时间:2026年3月25日-27日
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芯阀展品
芯阀主营半导体阀门、过滤器、集成系统、管件、接头及液冷快速接头等产品,广泛用于半导体芯片制造的核心工艺。芯阀将携一系列高纯及超高纯产品亮相展会,包括:金属面密封接头、焊接接头、隔膜阀、减压阀、过滤器等,致力于为半导体行业提供全方位的产品和服务。
重点展品

原⼦层沉积隔膜阀 ALD 系列
■ ⾼速执⾏下的超⾼循环寿命
■ 响应速度快,可在低于15ms内完成阀⻔开启或关闭
■ 阀⻔流量⼀致性±3%以内
■ 耐热型延⻓热应⽤场合的执⾏器寿命
■ 全封闭阀座设计,具有优越的抗膨胀和防污染能⼒
■ 钴镍合⾦隔膜提⾼强度和耐腐蚀,使⽤寿命⻓
■ ⾼纯级 PFA 阀座,⼴泛的化学兼容性
■ 适合超⾼纯应⽤场合
■ 模块化表⾯安装、卡套管对焊和⾦属⾯密封端接可选择

隔膜阀 DV 1、2、3、4、5、6、7系列
■ 内部容积⼩,极少颗粒⽣成
■ 全封闭阀座设计,具有优越的抗膨胀和防污染能⼒
■ 内部⽆螺纹和弹簧,可完全清扫流道
■ 钴镍合⾦隔膜提⾼强度和强抗腐蚀性,使⽤寿命⻓
■ ⼿动或⽓动类型可选
■ 适⽤于超⾼纯应⽤

减压阀 PRE 系列
■ 适⽤于⾼纯⽓体的压⼒调节
■ 阀体材质 316L/316L VAR
■ 膜⽚和阀芯采⽤Hastelloy
■ ⾃由膜⽚设计

金属面密封接头 G 系列
■ ⾦属对⾦属密封,在真空到⾼压范围内提供⽆泄漏服务
■ 螺⺟上的测试孔便于泄露测试
■ 内螺纹螺⺟镀银防⽌磨损
■ 电解抛光后标准平均表⾯粗糙度可达 Ra 5 μin(0.13 μm)、 Ra 10 μin( 0.25 μm ) 可选
■ 每个接头和本体上有永久可追溯的标识
期待与您在 SEMICON China 2026 相遇,共启新程,共赢未来!
