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衬底材料热导率检测，衬底材料检测机构

作者：本站编辑      2025-11-29 21:51:19     0
衬底材料热导率检测，衬底材料检测机构

衬底材料热导率检测，衬底材料检测机构

检测指标：晶体结构完整性、表面平整度、厚度均匀性、电阻率、热导率、与外延层结合力。
常见样品：半导体衬底（硅片、碳化硅衬底）、光学衬底（蓝宝石衬底、石英衬底）、超导薄膜衬底（氧化镁衬底）、电子器件衬底（氧化铝衬底）。
检测项目：1. 结构检测（XRD 测晶体结构、AFM 测表面粗糙度）；2. 物理性能（四探针法测电阻率、激光闪射法测热导率）；3. 尺寸检测（椭圆偏振仪测厚度、激光干涉仪测平整度）；4. 力学性能（划痕试验测结合力、弯曲试验测断裂强度）；5. 成分检测（ICP-MS 测杂质含量）。 #衬底材料 #cma认证 #检测认证中心 #检测认证报告 #检测中心收费标准

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