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全球ALD设备、前驱体供应商及产品信息汇总

作者:本站编辑      2025-11-28 22:29:18     0
全球ALD设备、前驱体供应商及产品信息汇总

全球ALD设备、前驱体供应商及产品信息汇总

作者:常晟源 复旦微电子 博士生
之前我带的一个从事ALD方向研究的实习生独立整理了ALD工艺在半导体产品中的应用信息。原文可以参考以下链接:
ALD工艺在半导体产品中的应用梳理
后来他又整理半导体领域ALD设备和耗材(前驱体)供应商及具体产品的信息。数据发布后得到不少行业专家和从业人员的反馈
最近几天,他在繁重的学校课题之余又整理一个新版本。这次的数据相较上一版增加不少供应商信息
所以我第一时间优化里表格内容以后截图发布出来,供行业内外又兴趣的朋友参考。同时也再次麻烦大家帮忙确认和纠错。有任何问题,欢迎私信留言和我沟通

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