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别再只盯着EUV了!这5类设备才掌握命门

作者:本站编辑      2025-11-07 08:59:08     0
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芯片制造成功依赖多种关键设备,如薄膜沉积、刻蚀、量测、离子注入和清洗设备,它们确保产线良率和成本。国产设备虽取得进展,但生态和信任问题仍需突破,需全产业链协作和长期投入。
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